Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры)

Описание

Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры) — техническое средство с номером в госреестре 46579-11 и сроком свидетельства (заводским номером) 01.04.2016. Имеет обозначение типа СИ: 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры).
Произведен предприятием: Фирма "Brooks Automation, Inc.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры).

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Модули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры 275 (модули), 3хх (модули и контроллеры).

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
46579-11
НаименованиеМодули для измерения вакуума, модули для измерения вакуума и контроллеры
Обозначение типа275 (модули), 3хх (модули и контроллеры)
ПроизводительФирма "Brooks Automation, Inc.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер01.04.2016
НазначениеМодули для измерения вакуума серии 275, модули для измерения вакуума и контроллеры серии 3хх производства Brooks Automation, Inc. (США), предназначены для измерения абсолютного давления в диапазоне от 3×10-9 до 1,3×105 Па.
ОписаниеМодуль для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus состоит из двух измерительных датчиков: теплопотери и ионизационного. Датчик теплопотери состоит из двух компланарных проводных элементов (компенсационного и считывания), встроенного контроллера, поддерживающего температуру проводного элемента считывания и усилителя сигнала ошибки. Ионизационный датчик включает в себя: двойную иридиевую нить накала (катод), сетку (анод) и приемник ионов. Для настройки модуля для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus используется встроенное реле управления. Показания абсолютного давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus имеет линейный аналоговый выход от 0 до 10 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485 и DeviceNet. Модули для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion и 347 Stabil-Ion в отличие от модуля для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus состоят только из ионизационного датчика. Ионизационный датчик у модуля для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion, как и у модуля для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus, включает в себя: двойную иридиевую нить накала (катод), сетку (анод) и приемник ионов. Ионизационный датчик у модуля для измерения вакуума серии 347 Stabil-Ion, в отличие от ионизационного датчика модуля для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion, включает в себя двойную иридиевую спираль накаливания и анод, расположенный в центре спирали. Для настройки модулей для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion и 347 Stabil-Ion используется встроенное реле управления. Показания абсолютного давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion имеет линейный аналоговый выход от 0 до 10 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485. Модуль для измерения вакуума серии 347 Stabil-Ion оснащен цифровым интерфейсом RS 485 или DeviceNet. Модуль для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ состоит из двух измерительных датчиков: конвекционного и дифференциального диафрагменного, что позволяет ему измерять не только абсолютное давление, но и разность давления в диапазоне от минус 100 кПа до 33,3 кПа. Показания абсолютного давления и разности давлений отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ имеет нелинейный аналоговый выход от 0,375 до 5,659 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485. Модуль для измерения вакуума серии 275 Mini-Convectron в отличие модуля для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ состоит только из конвекционного датчика. Показания абсолютного давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Модуль для измерения вакуума серии 275 Mini-Convectron имеет аналоговый выход: нелинейный от 0,375 до 5,659 В или линейный от 0 до 10 В и оснащен цифровым интерфейсом RS 485 или DeviceNet. Конвекционный датчик измеряет абсолютное давление при помощи определения теплоотдачи от нити накаливания, при поддержании постоянной температуры. У датчика теплопотери сопротивление проводного элемента считывания увеличивается с повышением температуры, при этом встроенный в него контроллер постоянно настраивает тепловой ток, проходящий через этот элемент для поддержки контролируемой температуры. Компенсационный проводной элемент контролирует температуру окружающей среды. Таким образом, при повышении абсолютного давления, потеря тепла при прохождение тока от датчика через газ увеличивается, а температура датчика уменьшается, что вызывает уменьшение сопротивления. В этом случае усилитель сигнала ошибки определяет изменение дифференциала сопротивлений между проводным элементом считывания и компенсационным проводным элементом и вызывает увеличение теплового тока, проходящего через элемент считывания, что влечет за собой увеличение температуры и сопротивления. Ионизационный датчик измеряет абсолютное давление, ионизируя остаточный газ в ионизационной камере. Двойная иридиевая нить накаливания или двойная иридиевая спираль накаливания с иттриевым покрытием (катод) нагревается до такой температуры, что электроды излучаются и ускоряются навстречу аноду. Разогнанные электроны, сталкиваясь с молекулами газа и получив положительный заряд, ускоряются по направлению к приемнику ионов. При этом частота, с которой электроны сталкиваются с молекулами газа, прямо пропорциональна плотности молекул, поэтому ионный ток пропорционален плотности газа или абсолютному давлению, при постоянной температуре. Контроллеры серии 358 Micro-Ion и 370 Stabil-Ion являются модульными приборами, работают в комплекте с несколькими вакуумными датчиками, имеют аналоговый выход и цифровой интерфейс. Показания абсолютного давления отображаются на трех дисплеях одновременно, расположенных на передней панели контроллеров. Контроллер серии 358 Micro-Ion работает в комплекте с одни высоковакуумным ионизационным датчиком серии 355 Micro-Ion и двумя вакуумными конвекционными датчиками серии 275 Convectron. Контроллер серии 358 Micro-Ion оснащен цифровым интерфейсом RS 232 или RS 485. Контроллер серии 370 Stabil-Ion работает в комплекте с двумя высоковакуумными ионизационными датчиками серии 370 Stabil-Ion и двумя вакуумными конвекционными датчиками серии 275 Convectron. Контроллер серии 370 Stabil-Ion оснащен цифровым интерфейсом RS 232, RS 485 или DeviceNet. Контроллеры серии 375 Convectron и 316 являются модульными приборами, имеют аналоговый выходной сигнал и оснащены цифровым интерфейсом RS 232 или RS 485. Контроллер серии 375 Convectron работает в комплекте с одни вакуумным конвекционным датчиком серии 275 Convectron, а контроллер серии 316 работает в комплекте с тремя вакуумными конвекционными датчиками серии 275 Convectron. Контроллер серии 316 может комплектоваться ёмкостными манометрами или термопарными вакуумметрами. Пломбировка корпусов модулей серии 275, модулей и контроллеров серии 3хх от несанкционированного доступа производится путем приклеивания разрушающихся наклеек на съемные крышки корпусов. Все приборы имеют защитную блокировку. При вскрытом корпусе функционирование приборов невозможно.
Программное обеспечениеВстроенное программное обеспечение модулей для измерения вакуума серии 275, модулей для измерения вакуума и контроллеров серии 3хх имеют одинаковую структурную схему. Конструктивно модули для измерения вакуума серии 275 и 3хх представляют собой единую конструкцию, состоящую из одного или двух сменных датчиков и блока обработки сигнала. Электронный блок подает питающее напряжение на датчик и считывает аналоговый сигнал. В дальнейшем производится оцифровка и обработка сигнала микросхемами поддержки процессора. Контроллеры серии 3хх представляют собой электронный блок, состоящий из кросс-платы, платы расширения, цифрового жидкокристаллического индикатора и панели управления. С датчиками контроллер связан посредством специальных кабелей различной длины. Электронный блок выдает питающее напряжение на датчики и получает с них аналоговый сигнал, который преобразуется в цифровой код и поступает на обработку микропроцессором и микросхемами поддержки процессора. В обоих случаях реализуется «жесткая» логика обработки сигнала, которая реализуется при помощи специализированных микросхем. Программа обработки цифрового кода реализована в машинном коде (ассемблере) микропроцессора. Метрологически значимая часть встроенного программного обеспечения имеет следующие характеристики:
Наименование программного обеспеченияИдентификационное наименование программного обеспеченияНомер версииЦифровой идентификатор программного обеспеченияАлгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения
AN&DCP27AN&DCP271.00DD47228CCRC32 по IEEE 1059-1993
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню А по МИ 3286-2010. Модуль для измерения вакуума серии 356 Micro-Ion Plus Модуль для измерения вакуума серии 354 Micro-Ion Модуль для измерения вакуума серии 347 Stabil-Ion Модуль для измерения вакуума серии 275 Mini-Convectron Модуль для измерения вакуума серии 385 Convectron АТМ Контроллер серии 316 Контроллер серии 370 Stabil-Ion в комплекте вакуумными датчиками серии 370 и 275 Контроллер серии 358 Micro-Ion в комплекте Контроллер серии 375 Convectron в комплекте вакуумными датчиками серии 355 и 275 в комплекте с вакуумным датчиком серии 275
Метрологические и технические характеристики
Наименование характеристикиМодули для измерения вакуума
123456
Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мм рт. ст.)от 1,3×10-2 до 1,3×105 (от 1×10-4 до 1×103)от 1,3×10-7 до 1×105 (от 1×10-9 до 760)от 1,3×10-2 до 3×105 (от 1×10-4 до 2×103)от 1,3×10-7 до 6,7×100 (от 1×10-9 до 5×10-2)от 3×10-9 до 3×100 (от 2×10-11 до 2×10-2)
Диапазон измерений разности давлений, кПа --от - 100 до 33,3--
Аналоговый выходной сигнал: линейный, В нелинейный, Вот 0 до 10 от 0,375 до 5,659от 0 до 10 -- от 0,375 до 5,659от 0 до 10 -- -
Пределы допускаемой относительной погрешности, % а) модуля для измерения вакуума серии 356: - в диапазоне от 1×10-7 до 6,7×103 Па - в остальном диапазоне б) модуля для измерения вакуума серии 354 в) модуля для измерения вакуума серии 347: - в диапазонах от 1,3×10-9 до 8×10-6 Па и от 6,7 до 3 Па - в остальном диапазоне ±15 ±25±15±15 ±10
123456
г) модулей для измерения вакуума серии 275 и 385: - в диапазонах от 1,3×10-2 до 1,3×103 Па и от 2,7 ×104 до 1,3×105 Па - в остальном диапазоне±5 ±15±5 ±15
Пределы допускаемой погрешности разности давлений--±(0,33 кПа + 2,5% от показаний)--
Напряжение питания, Вот 11,5 до 26,5от 20,4 до 27,6от 11,5 до 26,5от 20,4 до 27,6от 20,4 до 27,6
Потребляемая мощность, Вт3,3263,32675
Габаритные размеры: длина, не более, мм ширина, не более, мм высота, не более, мм102 36 86,492 74 98102 36 86,471,2 86 76,291 97 247
Масса, не более, кг0,220,5670,340,40,8
Диапазон рабочих температур, °Сот 4 до 50от 10 до 40от 4 до 50от 0 до 40от 10 до 40
Диапазон температуры хранения, °Сот минус 40 до 70
Относительная влажность, %от 30 до 80
Наименование характеристикиКонтроллеры
12345
Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мм рт. ст.)от 1,3×10-7 до 1,3×105 (от 1×10-9 до 1×103)от 1,3×10-2 до 1,3×105 (от 1×10-4 до 1×103)от 6,7×10-7 до 1,3×105 (от 5×10-9 до 1×103)
Аналоговый выходной сигнал: линейный, В нелинейный, В логарифмический, В/декадаот 0 до 10 - -от 0 до 10 - -от 0 до 7 - 1от 0 до 7 - 1
Напряжение питания, Вот 12 до 24от 105 до 125от 12 до 24220
Частота, Гц-50-50
Потребляемая мощность, Вт6100650
Габаритные размеры: длина, не более, мм ширина, не более, мм высота, не более, мм96 168 48241 279 7696 168 48241 275 99
Масса, не более, кг1,83,00,721,8
Диапазон рабочих температур, °Сот 0 до 40от 0 до 40от 0 до 40от 0 до 40
12345
Диапазон температуры хранения, °Сот минус 40 до 70
Относительная влажность, %от 30 до 80
Тип используемых датчиков вакуумныхиониза-ционные серии 370 Stabil-Ionконвекционные серии 275 Convectronиониза-ционные серии 355 Micro-Ion
Количество датчиков вакуумныхдвадватриодиндваодин
Диапазон измерений абсолютного давления, Па (мм рт. ст.)от 1,3×10-7 до 1,3×105 (от 1×10-9 до 1×103)от 1,3×10-2 до 1,3×105 (от 1×10-4 до 1×103)от 6,7×10-7 до 6,7 (от 5×10-9 до 5×10-2)
Пределы допускаемой относительной погрешности контроллеров, % в комплекте с датчиком вакуумметрическим серии 355±15
в комплекте с датчиком вакуумметрическим серии 275: - в диапазонах от 1,3×10-2 до 3×103 Па и от 2,7 ×104 до 1,3×105 Па - в остальном диапазоне в комплекте с датчиком вакуумметрическим серии 370: - в диапазонах от 1,3×10-7 до 8×10-6) Па и от 6,7 до 3 Па - в остальном диапазоне±15 ±10±5 ±15
КомплектностьВ комплект поставки входят: модуль для измерения вакуума или контроллер 1 комплект; кабель (параметры указываются при заказе) 1 шт.; руководство по эксплуатации 1 экз.
Поверка осуществляется по МИ 140-89 “ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки”. Основные средства поверки: установка вакуумная градуировочная с расширяющими объёмами ГУ-5, с диапазоном измерений абсолютного давления от 0,0133 до 4(104 Па, с пределом допускаемой погрешности ± 2% от измеряемой величины; вакуумметр ионизационный образцовый ВИО-1 в комплекте с преобразователем ПМИ-39-2, с диапазоном измерений от 1(10-1 до 1(10-9 Па, с пределами допускаемой погрешности: ± 11 % от измеряемой величины, в диапазонах от 1(10-1 до 1(10-3 Па и от 1(10-7 до 1(10-9 Па; ± 6 % от измеряемой величины, в диапазоне от 1(10-3 до 1(10-5 Па; ± 8% от измеряемой величины, в диапазоне от 1(10-5 до 1(10-7 Па.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к модулям для измерения вакуума серии 275, модулям для измерения вакуума и контроллерам серии 3хх ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические требования»; ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1(10-8 ( 1(103 Па»; Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений При выполнении работ по оценке промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Заявитель Brooks Automation, Inc. (США), 15 Elizabeth Dr. Chelmsford, MA 01824 USA. Tel. (978) 262-2400, Fax (978) 262-2500, www.broors.com
Испытательный центр Государственный центр испытаний средств измерений – ФГУ «Российский центр испытаний и сертификации - Москва» (ГЦИ СИ – ФГУ «Ростест - Москва»), 117418, г. Москва, Нахимовский проспект, дом 31 Тел. (499) 129-19-11, тел./факс (499) 124-99-96, Email: info@rostest.ru Аттестат аккредитации №30010-10 от 15.03.2010г.