Приборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников SemiCon-1

Описание

Приборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников SemiCon-1 — техническое средство с номером в госреестре 48987-12 и сроком свидетельства (заводским номером) 08.02.2017. Имеет обозначение типа СИ: SemiCon-1.
Произведен предприятием: ФГБ образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ), г.Томск.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Приборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников SemiCon-1.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Приборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников SemiCon-1.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
48987-12
НаименованиеПриборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников
Обозначение типаSemiCon-1
ПроизводительФГБ образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ), г.Томск
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер08.02.2017
НазначениеПрибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1» (далее - Прибор) предназначен для экспрессного бесконтактного локального измерения удельного сопротивления, времени жизни неравновесных носителей заряда (далее - ННЗ) и определения типа проводимости в пластинах и толстых шайбах поли- и монокристаллического кремния, германия, арсенида галлия в лабораторных условиях.
ОписаниеИзмерение удельного сопротивления и времени жизни ННЗ полупроводников в приборе производится бесконтактным СВЧ резонаторным методом. Принцип действия метода основан на регистрации потерь СВЧ мощности, вносимых свободными и неравновесными носителями заряда исследуемого образца в измерительный СВЧ резонатор с внешним кольцевым отверстием, включенным на проход. Тип проводимости определяется по знаку изгиба энергетических зон кремния методом поверхностной фото-ЭДС с помощью емкостного кольцевого датчика. Измерение всех параметров полупроводникового образца на приборе осуществляется в автоматизированном режиме. Все операции по настройке, заданию режимов, вычислению выполняет персональный компьютер (ПК), соединенный с прибором «SemiCon– 1» по протоколу USB 2.0 посредством адаптера и прилагаемым программным обеспечением ПО «Байкал». Обозначение прибора при заказе . Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon-1»» ТУ 4276 – 019 – 02069318 – 2011. По устойчивости к климатическим и механическим воздействиям при транспортировании и хранении прибор должен соответствовать требованиям группы 2 ГОСТ 22261-94. На рисунке 1 представлена фотография общего вида прибора неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1» с указанием мест пломбирования. Рисунок 1 – Общий вид прибора неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1»
Программное обеспечениеНаименование программного обеспечения определяется визуально по наименованию Главного окна программы, которому соответствует значение «Terminal». Идентификационное наименование программного обеспечения определяется по имени исполняемого модуля программы, которое соответствует значению «Terminal2.ехе ». Номер версии определяется путем открытия вкладки «Help» главного окна программы. В нем указан номер версии «2.2.0.158». Программное обеспечение делится на ПО верхнего уровня (установленное на компьютере) и ПО нижнего уровня (записано в управляющий микроконтроллер прибора). ПО верхнего уровня не является метрологически значимым, так как его задача получить по интерфейсу связи данные от прибора и отобразить эти данные в нужном виде. ПО нижнего уровня защищено от изменения и может модифицироваться только предприятием изготовителем при помощи специального оборудования. Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольную сумму исполняемого кода) определяют для исполняемого модуля «Terminal2.ехе» при помощи программы «md5summer.ехе». Файлу контрольной суммы исполняемого кода присваивают имя «ПО_ Байкал», который с этого момента является цифровым идентификатором программного обеспечения. Оценка алгоритма вычисления цифрового идентификатора производится путем анализа экспертных оценок и литературы. Оценку влияния программного обеспечения на метрологические характеристики средства измерений производить не требуется, так как ПО верхнего уровня не влияет на метрологические характеристики прибора. Уровни защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений – А, С по МИ 3286-2010. Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1. Таблица 1
Наименование программного обеспеченияИдентификационное наименование программного обеспеченияНомер версии (идентификационный номер) программного обеспеченияЦифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода )Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения
«Байкал»«Terminal2.ехе »«2.2.0.158»2D7DD66B контрольная суммаПрограмма (алгоритм): WIN-SFV32 v1.0
Метрологические и технические характеристикиМетрологические и технические характеристики приведены в таблице 2. Таблица 2
Наименование характеристикиТребуемое значение
Диапазон измерения удельного сопротивления, Ом•см*)от 5∙10-2 до 5∙104
Диапазон измерения времени жизни ННЗ, сот 1∙106 до 1∙103
Определения типа проводимости**) «n» / «p»
Диапазон удельного сопротивления измеряемых образцов для кремния при определении типа проводимости, Ом·см5∙101 – 1∙105
пределы допускаемой относительной погрешности измерения удельного сопротивления, % в диапазонах: от 5·10-2 до 10-1 Ом·см от103 до 5·104 Ом·см от 10-1до103Ом·см±10 ±10 ±5
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения температуры образцов кремния, ˚C±0,5
пределы допускаемой относительной погрешности измерения времени жизни ННЗ, %±5
Время установления рабочего режима, мин20
Время непрерывной работы прибора, час8
Питание прибора осуществляется от однофазной - трехпроводной сети переменного тока: частота, Гц напряжение, В потребляемая мощность, ВА, не более50±0,5 220±22 50
Масса, кг, не более17
Габаритные размеры, мм, не более490×476×280
Сопротивление изоляции МОм, не менее20,0
Средняя наработка до отказа,ч6000
Средний срок службы, лет10
Рабочие условия применения: температура окружающего воздуха, ˚С - относительная влажность воздуха, %,при 25 ˚С - атмосферное давление, кПа (мм рт.ст.) - отсутствие вибраций и ударов (20±5) от 40 до 80 97 — 104(730 – 780)
*) Пространственное разрешение при измерении удельного сопротивления и времени жизни ННЗ – диаметр 4 мм. **) Пространственное разрешение определения типа проводимости – диаметр 2 мм.
КомплектностьКомплект поставки прибора приведен в таблице 3 Таблица 3
НаименованиеОбозначениеКол-воПримечание
1 Прибор неразрушающего контроля «SemiCon-1» ПЛЛГ.411721.0011 шт.
2 ПКIBMсовместимый1 шт
3 Кабель-адаптер для соединения ПК с прибором1 шт.
4 Шнур питания1 шт.
5 Программное обеспечение на дискеПО «Байкал»1
6 Рабочие эталоны монокристалллического крем-ния с известным значением удельного сопротивления, времени жизни ННЗ и типом проводимостиSi3Измеренные на сертифицированных приборах по всем трем параметрам
7 Руководство по эксплуатации ПЛЛГ.411721.001 РЭ1
8 Формуляр ПЛЛГ.411721.001 ФО1
Поверкаосуществляется по методике поверки, приведенной в разделе 4 документа «Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1» Руководство по эксплуатации ПЛЛГ.411721.001 РЭ», утвержденной ГЦИ СИ СНИИМ 31 октября 2011 года. Перечень основных средств поверки приведен в таблице 4. Таблица 4 Наименование Метрологические характеристики Мегаомметр ЭС0202/2-Г испытательное напряжение 1000 В ПКIBMсовместимый; ПО «Байкал» Измеритель температуры многоканальный прецизионный « Термоизмеритель ТМ-12.4» ПГ ±0,05 (С Комплект стандартных образцов удельного сопротивления кремния СОП 48-0572-176 (1-17)-89 Неоднородность (1,3-2,5) %.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к прибору неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1» 1 ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия. 2 ГОСТ 12.2.007.0-75 Система стандартов безопасности труда. Изделия электротехнические. Общие требования безопасности. 3 ГОСТ 22622-77 Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров. 4 Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1» Технические условия ТУ 4276 – 019 – 02069318 – 2011. 5 Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1». Руководство по эксплуатации ПЛЛГ. 411721.001 РЭ, раздел 4 Методика поверки. Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодатальством Российской Федерации обязательным требованиям.
Заявитель Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский Томский государственный университет» (ТГУ) Адрес: 634050 г. Томск, пр Ленина, 36, Телефон (3822) 52-98-52. Факс (3822) 52-95-85
Испытательный центрГЦИ СИ ФГУП «Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии», регистрационный номер 30007-09 Адрес: 630004 г.Новосибирск, пр.Димитрова, 4 Тел.8(383) 210-16-18 e-mail: evgrafov@sniim.nsk.ru