Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV

Описание

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV — техническое средство с номером в госреестре 50908-12 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ MP18110031. Имеет обозначение типа СИ: JSM-6460LV.
Произведен предприятием: Фирма "Jeol", Япония.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
50908-12
НаименованиеМикроскоп электронный растровый
Обозначение типаJSM-6460LV
ПроизводительФирма "Jeol", Япония
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ MP18110031
НазначениеМикроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее – микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.
ОписаниеМикроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных и детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания. Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных отраженных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч. Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6460LV
Программное обеспечениеУправление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010. Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
Наименование ПОИдентифика-ционное наименование ПОНомер версии ПОЦифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измеренийTR0104-0206.5479BD56A52F4Е65CF14CC36193B0585A629861652466F272F3DB974B2F378878BГОСТ Р 34.11-94
Метрологические и технические характеристики Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2 Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30кВ (образец – кремний), нм, не более30
Диапазон регулировки увеличения, крат8(300000
Диапазон измерений линейных размеров, мкм0,15(5000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,15 до 0,3 мкм - в диапазоне от 0,3 до 0,6 мкм - в диапазоне от 0,6 до 5000 мкм±11 ±7 ±5
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ0,3(30
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В220+22-33
Потребляемая мощность, кВ∙А 3
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ - видеоконтрольный блок750х960х1480 1150х900х700
Масса, кг600
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, (С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа20 ( 5 60 84(107
КомплектностьВ комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый JSM-6460LV, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки». Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному растровому JSM-6460LV Техническая документация фирмы-изготовителя. Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений - применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
ЗаявительФирма «JEOL», Япония. Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan. Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.
Испытательный центрГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10. Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1. Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru