Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500

Описание

Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 — техническое средство с номером в госреестре 50909-12 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ IB10100007. Имеет обозначение типа СИ: JIB-4500.
Произведен предприятием: Фирма "Jeol", Япония.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
50909-12
НаименованиеМикроскоп электронно-ионный растровый
Обозначение типаJIB-4500
ПроизводительФирма "Jeol", Япония
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ IB10100007
НазначениеМикроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
ОписаниеМикроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне измерений микро- и наноразмеров. Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом для их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники. Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки. Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Программное обеспечениеУправление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010. Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
Наименование ПОИдентификационное наименование ПОНомер версии ПОЦифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измеренийMulti Beam System Control Program1.04BA7A106561F93C5Е946D513ЕA6D3155C446B292ЕCC7AC714A69466220DC0F68FГОСТ Р 34.11-94
Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового JIB-4500
Метрологические и технические характеристики Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2. Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкмот 0,1 до 1000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, %: - в диапазоне от 0,1 до 0,2 мкм - в диапазоне от 0,2 до 0,4 мкм - в диапазоне от 0,4 до 1000 мкм(11 (7 ±5
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец – кремний), нм, не более25
Разрешение при возбуждении электронным пучком и ускоряющем напряжении 30 кВ, нм2,5
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В220+22-33
Потребляемая мощность, кВ∙А4,7
Масса, кг1000
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм1820 х 1100 х 1700
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ºС - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, кПа20±5 95 84(107
КомплектностьВ комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки». Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронно-ионному растровому JIB-4500 Техническая документация фирмы-изготовителя. Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений - применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
ЗаявительФирма «JEOL», Япония. Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan. Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.
Испытательный центрГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10. Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1. Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru