Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100

Описание

Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 — техническое средство с номером в госреестре 51413-12 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ EM17410050. Имеет обозначение типа СИ: JEM-2100.
Произведен предприятием: Фирма "Jeol", Япония.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
51413-12
НаименованиеМикроскоп электронный просвечивающий
Обозначение типаJEM-2100
ПроизводительФирма "Jeol", Япония
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ EM17410050
НазначениеМикроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров деталей структуры тонкопленочных объектов.
ОписаниеПринцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца. Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый из них составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Объективная линза дополнена управляемой диафрагмой. Блок, формирующий изображение, содержит промежуточные линзы, позволяющие, получать картины электронной дифракции. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку. Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера. При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч. Рис.1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM-2100
Программное обеспечениеУправление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010. Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
Наименование ПОИдентификационное наименование ПОНомер версии ПОЦифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измеренийTEM Basic System V 2.8.0 VEM0434-0902.8.071D14355FFFAA965D100F75272C1378ACDCCDBC3A237D2A23939D708C7244D32ГОСТ Р 34.11-94
Метрологические и технические характеристики Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2. Таблица 2.
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров, мкмот 0,003 до 50
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,003 до 0,005 мкм - в диапазоне от 0,005 до 0,015 мкм - в диапазоне от 0,015 до 50 мкм±18 ±11 ±6
Диапазон регулировки увеличения, кратот 50 до 1500000
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВот 80 до 200
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В220+22-33
Потребляемая мощность, кВА10
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм 2440х2250х1570
Масса, кг1900
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, (С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа20 ( 5 60 84(107
КомплектностьВ комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверкаосуществляется по документу МП 51413-12 «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в сентябре 2012 г. Средства поверки: СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния (ГСО 10030-2011).
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему JEM-2100 Техническая документация фирмы–изготовителя «JEOL», Япония. Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
ЗаявительФирма «JEOL», Япония. Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan. Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.
Испытательный центрГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10. Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1. Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru