Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000

Описание

Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000 — техническое средство с номером в госреестре 54262-13 и сроком свидетельства (заводским номером) 23.07.2018. Имеет обозначение типа СИ: JCM-6000.
Произведен предприятием: Компания "JEOL Ltd.", Япония.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Номер в госреестре
НаименованиеМикроскопы электронные растровые настольные
Обозначение типаJCM-6000
ПроизводительКомпания "JEOL Ltd.", Япония
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер23.07.2018
НазначениеМикроскопы электронные растровые настольные JCM-6000 (далее – микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
ОписаниеМикроскоп электронный растровый настольный JCM-6000 представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему. Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных электронов, детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания. Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных электронов. Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом настольном JCM-6000 заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Создание устойчивого изображения диэлектрических объектов в режиме «low vacuum» обеспечивается благодаря напуску воздуха в камеру образца, в результате чего сохраняется возможность наблюдения непроводящих объектов без предварительного напыления токопроводящего покрытия. При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч. Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ. Конструктивно микроскоп выполнен в виде моноблока. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно. Внешний вид микроскопа приведен на рисунках 1 - 3. * - место для размещения наклеек Рисунок 1 – Общий вид микроскопа JCM-6000 Рисунок 2 – Задняя панель микроскопа JCM-6000 Рисунок 3 – Места пломбировки от несанкционированного доступа
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение (ПО) «JCM-6000 SOFTWARE» является специализированным ПО микроскопа. ПО «JCM-6000 SOFTWARE» предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «JCM-6000 SOFTWARE» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики микроскопа не выходит за пределы согласованного допуска. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1. Таблица 1
Наименование ПОИдентификационное наименование ПОНомер версии (идентификационный номер) ПОЦифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)Алгоритм вычисления идентификатора ПО
ПО JCM-6000JCM-6000 SOFTWAREVer.1.14bc78072 9bbc5bdе 2е19a141 149d7d92 10е321a1 3178b40d 415bd6aе 2040cda2 d4b2db79 f4f2a81c 49еbfc5d ГОСТ Р34.11-94
Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристикиОсновные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2. Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Диапазон измерений линейных размеров, мкм от 1 до 1000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %± 8
Разрешение при ускоряющем напряжении 15 кВ, нм40
Габаритные размеры (ширина × высота × глубина), мм, не более 30×325×490
Масса без ЗИП и упаковки, кг, не более 50
Рабочий диапазон температуры окружающей среды, ºСот 15 до 30
Относительная влажность воздуха при температуре 20 (С, %, не более60
Диапазон атмосферного давления, кПаот 84 до 107
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В220 ± 22
Потребляемая мощность, В·А, не более900
КомплектностьКомплект поставки включает: - микроскоп электронный растровый настольный JCM-6000 - 1 шт.; - комплект эксплуатационной документации (Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000. Руководство по эксплуатации) – 1 комплект; - одиночный комплект ЗИП; - методика поверки – 1 шт; - тестовый образец фирмы SPI (островковая пленка золота на углероде).
Поверкаосуществляется по документу МП 54262-13 «Инструкция. Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 24.06.2013 г. Основные средства поверки: - мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер 33598-06); - мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым настольным JCM-6000. Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000. Руководство по эксплуатации. Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
ЗаявительКомпания JEOL ltd., Япония 1-2 Musachino 3-chome Akishima Tokyo 196-8558 Japan.
Испытательный центрГосударственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ») Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1, Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений № 30036-10 от 10.06.2010 г.