Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL

Описание

Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL — техническое средство с номером в госреестре 65492-16 и сроком свидетельства (заводским номером) 27.10.2026. Имеет обозначение типа СИ: µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL.
Произведен предприятием: Компания "Trioptics GmbH", Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Интерферометры µPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
65492-16
НаименованиеИнтерферометры
Обозначение типаµPhase мод. PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL
ПроизводительКомпания "Trioptics GmbH", Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер27.10.2026
НазначениеИнтерферометры μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL (далее по тексту - интерферометры) предназначены для измерений двумерной карты высоты профиля поверхности (топограммы) отражающих объектов относительно начальной точки, выбираемой оператором, в микро- и нанодиапазоне.
ОписаниеПринцип действия интерферометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта. В основе приборов лежит оптическая схема неравноплечного интерферометра Тваймана-Грина. В интерферометрах световой поток от лазерного источника, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометров. В предметном плече располагается объектив и исследуемый объект, в опорном - плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора - видеокамеры. Расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограмма). Интерферометры представлены следующими моделями: μPhase PLANO DOWN - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных снизу; μPhase PLANO/ SPHERO UP - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных сверху; μPhase ST+R - для измерения объектов размером от 2 до 50 мм, расположенных сверху; μPhase VERTICAL - для измерения объектов размером от 2 до 150 мм, расположенных снизу; μPhase UNIVERSAL - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных горизонтально. Конструктивно интерферометры состоят из: интерферометрических датчиков μPhase 500/ 1000; источника излучения (HeNe-лазер); стойки настольной установки; объектива и персонального компьютера. В зависимости от размера и поверхности испытываемого объекта в состав интерферометров могут входить различные объективы: - для плоской испытываемой поверхности μLens PLANO 2, μLens PLANO 10, μLens PLANO 50, μLens PLANO 100, μLens PLANO 150, где цифры обозначают максимально возможный диаметр испытываемого образцы, мм; - для сферической поверхности µLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), µLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), µLens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), µLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), µLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), µLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), µLens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), µLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), µLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), µLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°) где цифры 10 и 50 обозначают максимальный диаметр измеряемого образца в мм, f/5.4, f/4.1, f/3.0, f/1.5, f/1.0, f/0.7 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град); Interfero4 4” f/11 NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4” f/3.3 NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9    NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°), Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75  NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5 NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2 NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1 NA=0.45 (53°), F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-6” f/0.75 NA=0.67 (83°), где цифры 4”, 6” - обозначают максимальный диаметр измеряемого образца в дюймах, f/11, f/7.2, f/4.8, f/3.3, f/2.2, f/1.1, f/1.0, f/0.75 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град). Для ограничения доступа внутрь корпуса приборов производится их пломбирование. Пломбируется место соприкосновения передней и задней панелей корпуса на боковой стороне прибора. Для защиты от несанкционированного доступа к элементам интерферометров, интерферометрические датчики пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
абв
гд
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров μPhase моделей: а - PLANO DOWN, б - PLANO/ SPHERO UP, в -ST+R, г - VERTICAL, д - UNIVERSAL с указанием мест нанесения маркировки, знака поверки (М) и пломбирования (М)
Программное обеспечениеИнтерферометры функционируют под управлением программного обеспечения (ПО) μShape, предназначенного для управления прибором в режимах калибровки, измерения и обработки результатов. ПО разделено на две части: метрологически значимая часть ПО содержится в виде библиотек на жестком диске ПЭВМ; интерфейсная часть ПО запускается на ПЭВМ и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений. ПО μShape представлено следующими версиями, различающимися функциональными возможностями: - базовая (Basic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов; - офтальмологическая (Ophthalmic) - стандартный пакет программного обеспечения для тестирования плоских и сферических поверхностей и волновых фронтов с дополнительной функцией по определению бокового смещения инструмента на станках алмазно-токарных станках с однолезвийным инструментом; - профессиональная (Professional) - профессиональный пакет программного обеспечения с расширенными функциями, такими как: вычисление полиномов Цернике-Лежандра, аберраций Зайделя или других статистических значений; - индивидуальная (Customized) - индивидуальный пакет программного обеспечения, который можно сконфигурировать под индивидуальный стиль работы по требованию Заказчика. Метрологически значимая часть программного обеспечения размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля. ПО имеет несколько уровней допуска для пользователей: «Пользователь на производстве», «Пользователь в лаборатории», «Руководитель», «Администратор». Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОμShape
Номер версии (идентификационный номер) ПО6.26 и выше
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)-
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО-
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует «среднему» уровню защиты в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Размер поля зрения, ммот 2 до 300от 2 до 300от 2 до 50от 2 до 150от 2 до 300
Нижний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм, не более0,032
Верхний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм, не менее - с датчиком μPhase 500 - с датчиком μPhase 100010,000 20,000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы относительных высот профиля поверхности, мкм±0,032
Длина волны источника излучения, мкм0,632
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц220±22 50±0,5
Габаритные размеры (высота × ширина × глубина), мм, не более*200×200×350 - 1500(1000(1000760×360×360 - 1100(360 (3601000(350 (420300×1800× 300 - 1000(21000 (700
Масса, кг, не более*от 30 до 300от 5 до 150от 20 до 100от 30 до 80от 20 до 150
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, (С - относительная влажность воздуха, %, не более (без конденсации влаги) от +19 до +21 70
* может варьировать в зависимости от комплектации по требованию заказчика
КомплектностьВ состав интерферометров входят элементы указанные в таблице 3. Таблица 3
НаименованиеКоличество, шт.
Интерферометры μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL или UNIVERSAL в составе: - источника излучения (HeNe-лазер) - интерферометрический датчик μPhase 500 или 1000* - объектив μLens PLANO 2, μLens PLANO 10, μLens PLANO 50, μLens PLANO 100, μLens PLANO 150, µLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10  (11°), µLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17  (19°), µLens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34  (40°), µLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50  (60°), µLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71  (90°), µLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12  (14°), µLens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21  (24°), µLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34  (40°), µLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50  (60°), µLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71  (90°), Interfero4 4” f/11 NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4” f/3.3 NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9    NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°), Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75  NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60 NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°), F-Aplanar 10-4” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67 NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5 NA=0.09 (10°), Interfero6 6” f/2.2 NA=0.23 (26°), Interfero6 6” f/1.1 NA=0.45 (53°), F-Aplanar 10-6” f/3.30 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80 NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6” f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-6” f/0.75 NA=0.67 (83°)* - стойка настольной установки1 1 1 1
Световолоконный кабель1
Набор кабелей1
Персональный компьютер1
USB-флэш-диск с программным обеспечением 1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки 1
________ * согласно требованию Заказчика
Поверкаосуществляется по документу МП 065.М44-15 «ГСИ. Интерферометры μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 сентября 2015г. Основные средства поверки: Меры шероховатости с параметром Rа из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0,02 до 1,8 мкм и Rа номинального значения 0,0015 мкм (регистрационный номер 2.1.ZZA.00342015) Основные метрологические характеристики: Ra - 0,0015 мкм Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью. Знак поверки наносится на корпус интерферометра (место нанесения указано на рисунке 1)
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферометрам μPhase моделей PLANO DOWN, PLANO/ SPHERO UP, ST+R, VERTICAL, UNIVERSAL ГОСТ 8.420-2002 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений отклонений от прямолинейности и плоскостности Техническая документация Компании «Trioptics GmbH», Германия
ЗаявительКомпания «Trioptics GmbH», Германия Адрес: Hafenstraße 35-39 22880 Wedel, Germany Тел.: +49 4103 18006-0; факс: +49 4103 18006-20 www.trioptics-berlin.com E-mail: berlin@trioptics-berlin.com,
Испытательный центр Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Тел./факс: (499) 792-07-03 E-mail: vniiofi@vniiofi.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.