Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP

Описание

Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP — техническое средство с номером в госреестре 70239-18 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ 2050/0119-06. Имеет обозначение типа СИ: UltraMap S100-FP.
Произведен предприятием: Фирма "MicroSense, LLC", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
70239-18
НаименованиеУстановка для измерения толщины
Обозначение типаUltraMap S100-FP
ПроизводительФирма "MicroSense, LLC", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ 2050/0119-06
НазначениеУстановка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка) предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия, германий и сапфир.
ОписаниеПринцип действия установки основан на двойном зондировании поверхности объекта с верхней и нижней стороны с помощью бесконтактных оптических зондов. Зонды располагаются на подвижном двухкоординатном столе, позиционирование которого осуществляется с помощью встроенного оптического датчика и контролируется линейным сервомотором с контуром обратной связи от датчика. Позиционирование зондов осуществляется с помощью компьютера. Измерения проводится как с нижней, так и с верхней стороны исследуемой пластины, толщина которой вычисляется автоматически в программе «UltraMap». Принцип действия оптических зондов основан на технологии хроматического кодирования глубины вдоль оптической оси зонда, разработанной SigmaTech. Конструктивно установка состоит из измерительного модуля с оптическим датчиком, верхнего и нижнего оптических зондов, робототехнической системы, воздуховода, переходной платформы со сменными держателями, гранитной платформы, баллона с чистым азотом, компьютера с операционной системой не ниже Windows98, соединительных кабелей. Результаты измерения передаются на внешний компьютер. Управление установкой осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением «UltraMap», позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты. Общий вид установки на рисунке 1. Схема мест пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2. Рисунок 1 - Общий вид установки для измерения толщины UltraMap S100-FP Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечениеУправление процессом измерения осуществляется с помощью специального программного обеспечения «UltraMap». Программное обеспечение (ПО) служит для калибровки средства измерения, настройки параметров и проведения измерений, визуализации, анализа, обработки и сохранения полученных данных. ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши. ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОUltraMap
Номер версии (идентификационный номер) ПО 1.12.0
Цифровой идентификатор ПО ̶
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Диапазон измерения толщины, мкмот 20 до 2000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения толщины, мкм± 3
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Диаметр измеряемых образцов, мм60, 76, 100
Габаритные размеры установки, мм, не более - высота - ширина - длина720 520 620
Масса, кг, не более100
Электропитание осуществляется от сети переменного тока напряжением, В частотой, Гцот 200 до 250 50/60
Потребляемая мощность, кВт, не более2,2
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, ºС Относительная влажность, %, не болееОт +18 до +35 80
КомплектностьТаблица 4 - Комплектность средства измерения
НаименованиеОбозначениеКоличество
Установка для измерения толщины «UltraMap S100-FP» в составе: измерительный модуль с оптическим сенсором, верхний и нижний зонды, робототехническая система, гранитная и переходная платформа, воздуховод, комплект соединительных кабелей-1 шт.
Баллон с чистым азотом-1 шт.
Компьютер-1 шт.
CD-диск с программным обеспечением-1 шт.
Методика поверкиМП 045. М44-171 экз.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 045. М44-17 «ГСИ. Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «26» июня 2017 г. Основные средства поверки: Меры длины концевые плоскопараллельные 3 разряда по ГОСТ Р 8.763-2011 (рег.№ 62321-15) Основные метрологические характеристики: Номинальные значения длины мер от 0,5 до 100 мм Допускаемые отклонения длины от номинального значения ±0,20 мкм Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью. Знак поверки наносится на поверхность корпуса установки (место нанесения указано на рисунке 2).
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для измерения толщины UltraMap S100-FP Техническая документация фирмы-изготовителя «MicrsoSense LLC-SigmaTech Division», США; ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ЗаявительФирма «MicroSense, LLC», США Адрес: 205 Industrial Avenue East Lowell, Massachusetts 01852 USA Телефон:978-843-7670 Факс: 978-856-3375
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Телефон: +7 (495) 437-56-33 Факс: +7 (495) 437-31-47 E-mail: vniiofi@vniiofi.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.