Микроскопы электронные растровые настольные EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS

Описание

Микроскопы электронные растровые настольные EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS — техническое средство с номером в госреестре 73441-18 и сроком свидетельства (заводским номером) 04.12.2029. Имеет обозначение типа СИ: EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS.
Произведен предприятием: Фирма "COXEM Co., Ltd.", Республика Корея.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскопы электронные растровые настольные EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскопы электронные растровые настольные EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
73441-18
НаименованиеМикроскопы электронные растровые настольные
Обозначение типаEM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS
ПроизводительФирма "COXEM Co., Ltd.", Республика Корея
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер04.12.2029
НазначениеМикроскопы электронные растровые настольные модификаций EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS (далее – микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа (все модификации) и локального электронно-зондового элементного анализа (модификация EM-30 AX PLUS).
ОписаниеПринцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему. Микроскоп состоит из настольного моноблока, отдельного форвакуумного насоса, персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом, блока электроники (модификация EM-30 AX PLUS). Моноблок включает электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кВ, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратнорассеянных (ОРЭ) электронов. Вакуумная система микроскопа обеспечивает остаточное давление менее 10-2 Па в режиме высокого вакуума (High Vacuum) и остаточное давление в камере образцов в диапазоне от 1 до 100 Па в режиме низкого вакуума (Low Vacuum) для наблюдения непроводящих объектов. Микроскоп оснащен моторизированным столиком по осям X, Y, T и столиком с ручным приводом по оси Z. Микроскоп имеет четырехсегментный полупроводниковый детектор (кремниевый PIN-диод) обратно-рассеянных электронов (все модификации) и интегрированный энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (модификация EM-30 AX PLUS). Микроскоп обеспечивает получение электронно-микроскопических изображений в режиме регистрации вторичных и обратно-рассеянных электронов. В модификацию EM-30 AX PLUS интегрирован энергодисперсионный рентгеновский спектрометр с кремниевым дрейфовым детектором, охлаждаемым элементом Пельтье (без жидкого азота, воды и вентилятора). Принцип действия детектора рентгеновского излучения основан на явлении генерации электронно-дырочных пар в полупроводниках под воздействием фотонов рентгеновского диапазона спектра. В результате генерации пар носителей тока в области p-n перехода происходит их разделение и формирования импульса заряда, амплитуда которого пропорциональна энергии рентгеновского фотона. Затем импульс заряда преобразуют в импульс напряжения, амплитуда которого также пропорциональна энергии попавшего в детектор фотона. В результате поток рентгеновских фотонов различной энергии преобразуется в последовательность импульсов напряжения с амплитудами, пропорциональными энергии попавших в детектор фотонов. Эта последовательность поступает на многоканальный анализатор напряжения, в результате чего формируется цифровая гистограмма амплитудного распределения импульсов. Пропорциональность амплитуды импульса энергии фотонов позволяет однозначно связать номер канала с энергией рентгеновских фотонов, а число попавших фотонов в данный канал отражает спектральную интенсивность поступающего на детектор рентгеновского излучения. Таким образом формируют цифровой спектр рентгеновского излучения. Обработка этого спектра по специальной программе позволяет получить сведения об элементном составе облучаемого микрообъема вещества (электронно-зондовый микроанализ). Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ. Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Внешний вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1. Место нанесения знака поверки Рисунок 1 – Общий вид микроскопа EM-30 PLUS (EM-30 AX PLUS)
Программное обеспечениеУправление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Программное обеспечение (ПО) «NS» является специализированным ПО микроскопа. ПО «NS» предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «NS» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОNS
Номер версии (идентификационный номер) ПО3.0.0
Цифровой идентификатор ПО-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиМодификации прибора
Диапазон измерений линейных размеров, мкм от 1 до 1000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %±6
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Kα1,2 марганца, не более, эВ-133
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиМодификации прибора
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВОт 1 до 30
Диапазон определяемых элементов- от C до U
Масса, включая все комплектующие, не более, кг95105
Габаритные размеры основных составных частей (ДxШхВ) не более, мм: - настольный моноблок - форвакуумный насос - блок электроники400х600х550 300х200х150 -400х600х550 300х200х150 200х200х200
Рабочий диапазон температуры окружающей среды, 0Сот +15 до +25
Относительная влажность воздуха при температуре +20 (С, %, не более70
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, Вот 210 до 230
Потребляемая мощность, не более, Вт1500
КомплектностьКомплектность представлена в таблице 4. Таблица 4
НаименованиеКоличество
Микроскоп электронный растровый настольный EM-30 PLUS (EM-30AX PLUS)1 шт.
Руководство по эксплуатации1 экз.
Методика поверки1 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 73441-18 «Микроскопы электронные растровые настольные EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 8 сентября 2018 г. Основные средства поверки: - мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. № 33598-06); - мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм (рег. №38376-08). - стандартный образец состава марганца металлического типа Мн95 (Ф5) ГСО 1095-90П или марганец марки Мн998 или Мн 997 по ГОСТ 6008-90. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью. Знак поверки наносится на лицевую панель микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым настольным EM-30 PLUS, EM-30 AX PLUS Техническая документация фирмы-изготовителя
ЗаявительCOXEM Co., Ltd., Республика Корея Адрес: #201, Migun Techno World 1-cha, 199, Techno 2-ro, Yuseong-gu, Daejeon. Korea, 34025
Испытательный центрАкционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ») Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./факс: (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа регистрационный номер RA.RU.311409 (приказ Росаккредитации от 19.11.2015 г. № А-9775).