Микроскоп электронный сканирующий Quattro S

Описание

Микроскоп электронный сканирующий Quattro S — техническое средство с номером в госреестре 81342-21 и сроком свидетельства (заводским номером) 9953401. Имеет обозначение типа СИ: Quattro S.
Произведен предприятием: "Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o.", Чешская Республика.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскоп электронный сканирующий Quattro S.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскоп электронный сканирующий Quattro S.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
81342-21
НаименованиеМикроскоп электронный сканирующий
Обозначение типаQuattro S
Производитель"Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o.", Чешская Республика
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер9953401
НазначениеМикроскоп электронный сканирующий Quattro S (далее – микроскоп Quattro S) предназначен для измерений линейных размеров, формы и ориентации наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
ОписаниеПринцип работы микроскопа Quattro S основан на физических эффектах взаимодействия сфокусированного пучка электронов с поверхностью объекта (образца). Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько сигналов и формируется конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен. Микроскоп Quattro S измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта, позволяет получать увеличенное изображение различных образцов, достигая увеличения до 1000000 крат. Микроскоп Quattro S представляет собой стационарный лабораторный прибор, состоящий из основной консоли, включающей электронно-оптическую колонну с источником электронов и систему линз; вакуумной системы; вакуумной камеры для образцов с установленным пятиосевым моторизированным столиком для перемещения образцов; блока электроники, включающего модули сканирования и обнаружения, и управляющего (серверного) компьютера со специализированным программным обеспечением xT и операционной средой Windows 7. Опционально можно установить дополнительный компьютер с ЖК-монитором, который либо используется как расширенный рабочий стол основного управляющего компьютера, либо как дополнительный компьютер с другими программными утилитами. Источником электронов высокой энергии является электронная колонна с высокостабильным полевым источником типа Шоттки. Микроскоп Quattro S работает в трех операционных вакуумных режимах: высокого вакуума (HiVac), низкого вакуума (LoVac) и сверхнизкого вакуума естественной влажной/газовой среды (ESEM). Вакуумная система микроскопа Quattro S полностью автоматизирована. Вакуумная аналитическая камера микроскопа Quattro S поддерживает одновременное размещение следующих детекторов, позволяющих получать электронно-микроскопические изображения: детектор вторичных электронов (SED) и детектор обратно-рассеянных электронов (BSED). Предметный столик камеры образцов моторизирован по 5 осям (X, Y, Z, наклон и вращение) с углом наклона от минус 15° до 90° и вращением вокруг оси сканирования на 360°. Все движения предметного столика задаются и контролируются программным обеспечением микроскопа Quattro S. Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей: держателя для одного образца, который крепится непосредственно к предметному столику, и универсальных держателей для нескольких образцов. Управление всеми системами микроскопа Quattro S, контроль его состояния, настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью мыши и клавиатуры основного управляющего компьютера со специализированным программным обеспечением, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на ЖК-монитор управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроскопа Quattro S соответствующей команды. Общий вид микроскопа Quattro S представлен на рисунке 1. Рисунок 1 – Общий вид микроскопа Quattro S Пломбирование микроскопа Quattro S не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение микроскопа Quattro S xT работает в операционной системе Windows 7, со следующими функциональными возможностями каждой части пользовательского интерфейса: - xT Microscope Server (Сервер управления): запускает и останавливает основные функции микроскопа Quattro S; - Microscope Control (User Interface (UI)) (Интерфейс пользователя): контролирует все системные функции, включая визуализацию, сбор, вывод изображений и видео; обнаружение, анализ, измерение и обработку данных измерений; сканирование, увеличение, навигацию по столику, давлению в камере и колонне и т.д.; - Account Manager (Менеджер учетных записей): настраивает доступ пользователей к операционной системе Windows 7 и пользовательскому интерфейсу Microscope Control. Конструкция микроскопа Quattro S исключает возможность несанкционированного влияния на метрологически значимую часть программного обеспечения и измерительную информацию посредством ограничения прав учетной записи пользователя. Для программного обеспечения микроскопа Quattro S предусмотрено 2 уровня доступа: пользовательский и сервисный. Идентификационные данные программного обеспечения микроскопа Quattro S приведены в таблице 1. Уровень защиты программного обеспечения микроскопа Quattro S «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроскопа Quattro S. Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения (ПО)
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОxT
Номер версии (идентификационный номер) ПОне ниже 15.2.2
Цифровой идентификатор ПО-
Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО (сервер управления)  xT Microscope Server
Идентификационное наименование модуля пользовательского интерфейса ПО  Microscope Control (User Interface (UI))
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров - при низком вакууме и сверхнизком вакууме естественной среды - при высоком вакуумеот 300 нм до 2 мкм от 300 нм до 1 мм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %±3
Разрешение (при оптимальном рабочем расстоянии в зависимости от вакуумного режима и типа детектора), нм, не более: - высокий вакуум в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 30 кВ - высокий вакуум в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 1 кВ - низкий вакуум и сверхнизкий вакуум естественной среды в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 30 кВ - низкий вакуум в камере, детектор вторичных электронов, ускоряющее напряжение 3 кВ1,0 3,0 1,3 3,0
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон показаний линейных размеров - при низком вакууме и сверхнизком вакууме естественной среды - при высоком вакуумеот 10 нм до 500 мкм от 10 нм до 4 мм
Окончание таблицы 3
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон регулирования увеличения, кратот 29 до 1000000
Давление в камере (в зависимости от вакуумного режима), Па: -высокий вакуум -низкий вакуум -сверхнизкий вакуум естественной влажной/газовой среды менее 6·10-4 от 10 до 200 от 10 до 4000 при использовании азота; от 10 до 2600 при использовании паров воды
Ускоряющее напряжение электронно-оптической колонны, кВот 0,2 до 30
Ток пучка, Аот 1·10-12 до 4,5·10-8
Параметры электрического питания: - питающее напряжение, В - частота, Гц230±23 50±1
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота1368 890 1768
Масса, кг, не более 1233
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха, %, не болееот +17 до +23 80
Средний срок службы, лет, не менее10
КомплектностьТаблица 4
Наименование ОбозначениеКоличество
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S1 шт.
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения-1 шт.
Методика поверки МП 94-223-20201 экз.
Поверкаприведены в главе 5 «Выполнение работ» эксплуатационного документа «Микроскоп электронный сканирующий Quattro S. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Заявитель
Испытательный центр