|
Изображение |  | Номер в госреестре | |
| Наименование | Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах |
| Обозначение типа | F40-NIR |
| Производитель | "Filmetrics. Inc", США |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Заводской номер |
| Срок свидетельства или заводской номер | 19Р040 |
| Назначение | Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах F40-NIR (далее – система) предназначена для бесконтактных измерений толщины покрытий, нанесенных на полупроводниковые пластины. Покрытия могут быть выполнены из различных материалов, включая фоторезист, оксиды, нитриды, поликремниевые пленки. Система позволяет также измерять толщину антибликовых и защитных оптических покрытий, покрытий из полиамида и резиста для дисплеев с плоским экраном, различных покрытий, которые используются при производстве CD и DVD дисков.
|
| Описание | Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах F40-NIR представлена моделью 260-0130
Принцип действия системы соответствует принципу действий спектральных рефлектометров и основан на измерении спектров отражения при нормальном падении света на измеряемую пластину. Спектральный состав света, прошедшего через тонкое покрытие и отраженного от подложки, зависит от толщины самого покрытия, а также от его оптических постоянных (показателя преломления n и коэффициента поглощения k). Система определяет характеристики тонкого покрытия из измерений интенсивности света, отраженного от подложки и покрытия, в ИК диапазоне излучения. С помощью программного обеспечения (ПО) FILMeasure система анализирует измеренные спектры, сравнивая их с набором рассчитанных спектров отражения, до тех пор, пока отличие между спектрами будет минимальным. Параметры покрытия (толщина и оптические постоянные n, k) расчетного спектра принимаются за результат измерения.
Система состоит из стойки C-Mount с интегрированной видеосистемой, микроскопа с XY столом и оптоволоконным входом, спектрометра, объективов 2x и 10x для SS-Microscope-EXR-1, персонального компьютера и установочного диска с программным обеспечением.
Система монтируется на креплении микроскопа и позволяет проводить измерение на квадратном участке размером 1 микрон.
На системе имеется шильдик с указанием наименования прибора, страны изготовителя, заводского номера. Заводской номер содержит буквенно-цифровое обозначение 19Р040, наносится на шильдик методом цифровой лазерной печати на самоклеящуюся пластиковую пленку и наклеивается на стойку системы.
Общий вид системы и обозначение места нанесения заводского номера представлены на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Пломбирование системы от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 – Общий вид системы
Рисунок 2 – Обозначение места нанесения знака поверки
|
| Программное обеспечение | Управление процессом измерения в системе осуществляется с помощью ПО FILMeasure. ПО служит для настройки внутренних исполнительных механизмов и измерительных устройств, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через клавиатуру, на дисплей выводится подробная информация о рассчитанной толщине покрытия, а также дополнительных параметрах, включая, оптические постоянные n и k.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | Идентификационное наименование ПО | FILMeasure | | Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 8.12.6.0 | | Цифровой идентификатор ПО | - |
|
| Метрологические и технические характеристики | Таблица 2 – Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон измерений толщины покрытий, нм | от 10 до 1000 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм | ±6 |
Таблица 3 – Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний толщины покрытий, нм | от 10 до 150000 | | Диаметр пластин, мм, не более | 100 | | Габаритные размеры, мм, не более:
- длина
- ширина
- высота | 436
305
322 | | Масса, кг, не более | 15 | | Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, ºС
- относительная влажность воздуха, %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +17 до +35
80
от 70 до 106 |
|
| Комплектность | Таблица 4 – Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество | | Система измерения толщины покрытий на кремниевых пластинах и мембранах:
- стойка для крепления микроскопа
- микроскоп
- спектрометр | F40-NIR
C-Mount
–
– | 1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт. | | Оптико-волоконный кабель | - | 1 шт. | | Объектив 2х для SS-Microscope-EXR-1 | – | 1 шт. | | Объектив 10х для SS-Microscope-EXR-1 | – | 1 шт. | | Калибровочный эталон | TS-Focus-SiO2-4-10000 | 1 шт. | | Персональный компьютер | – | 1 шт. | | CD-диск с программным обеспечением | FILMeasure | 1 шт. | | Руководство по эксплуатации | – | 1 экз. |
|
| Поверка |
приведены в эксплуатационном документе Руководство по эксплуатации раздел 3 «Проведение измерений»
| | Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к средству измерений
Техническая документация «Filmetrics. Inc», США
|
| Заявитель | «Filmetrics. Inc», США
Адрес: 10655 Roselle st., San Diego, CA 92121, USA
Телефон: +1 858-573-9300
Web-сайт: www.filmetrics.com
|
| Испытательный центр | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
| |
