|
Вид эталона: | ГПЭ |
| Номер в госреестре: | гэт203-2012 |
| Наименование эталона: | ГПЭ единицы комплексного показателя преломления |
| Хранитель эталона: | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Состав эталона: | Государственный первичный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств: - цифрового спектрального эллипсометра;- эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов - для контроля стабильности эталона;- профилометра интерференционного компьютерного для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;- автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;- системы сбора и обработки измерительной ин |
| Способ создания: | Нет данных |
| Вид измерения: | Эллипсометрия, спектрофотометрия |
| Область применения: | Измерения оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора, необходимы в микроэлектронике. Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои металлов. Комплексный показатель преломления необходимо измерять и учитывать при интерференционных измерениях высоты рельефа и/или толщины в нанометровом диапазоне.Основные области применения - микроэлектроника, физика твердого тела, физика поверхности, материаловедение, технология оптических покрытий, химия полимеров и электрохимия, биол |
| Описание: | Измерение комплексного показателя преломления (его составляющих n и k) выполняется с помощью спектрального эллипсометра через измерение эллипсометрических углов. Используются как стандартные модели "Metal Substrates", "Absorbing Thin Films (B-Spline)", так и собственные модели в зависимости от типа подложки (сапфир, ситалл, кремний). Для передачи размера единиц изготовлены эталонные меры комплексного показателя преломления однослойные и многослойные в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов. Для контроля качества мер используются профилометр интерференционный компьютерный (плоскостность) и автоматизированный интерференционный микроскоп (шероховатость). |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений комплексного показателя преломления ñ=n-ik , в котором воспроизводятся единицы, составляет:- для действительной части n (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;- для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0. |
| Межаттестационный интервал |
| Межаттестанционный интервал (лет): | 4 |
| Межаттестанционный интервал (месяцев): | 0 |
| Ученый-хранитель |
| ФИО: | Вишняков Геннадий Николаевич, д.т.н. |
| Телефон: | (495) 437-33-77 |
| Email: | vish@vniiofi.ru |
| Стандартная неопределённость |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу A: | u[_A](n) = 0,001,u[_A](k) = 0,002 |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу B: | u[_B](n) = 0,0007,u[_B](k) = 0,0004 |
| Суммарная стандартная неопределённость: | u[_C](n) = 0,001,u[_C](k) = 0,002 |
| Расширенная неопределённость при коэффициенте охвата k=2: | U[_Р](n) = 0,002,U[_P](k) = 0,004 |
| Характеристики точности |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений комплексного показателя преломления ñ=n-ik , в котором воспроизводятся единицы, составляет:- для действительной части n (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;- для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0. |
| Оценка случайной погрешности воспроизведения единиц: | Среднее квадратическое отклонение:- для действительной части п не более 0,001- для мнимой части k не более 0,002 |
| Оценка неисключённой систематической погрешности воспроизведения: | |
| Сопровождающие документы |
| Номер стандарта: | ГОСТ 8.645-2014 |
| Наименование стандарта: | ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления. |
| Наименование приказа: | Приказ Росстандарта № 1213 от 28.12.2012 |
| Дата приказа: | 28.12.2012 |
| Наличие технической и иной документации на ГЭ: | Комплект документов по Р 50.2.078-2011 |
| Публикации: | Нет данных |
| Создание и Техническое состояние |
| Организация-изготовитель: | ФГУП "ВНИИОФИ" |
| Способ создания: | Нет данных |
| Год выпуска: | 2012 |
| Год утверждения (переутверждения): | 2012 |
| Год последней аттестации: | 2022 |
| Первоначальная (восстановительная) стоимость, руб. (с учетом переоценки на 01.01.2003): | 0 |
| Норма амортизации (износа), %: | 0 |
| Начисленная амортизация (износ): | 0 |
| Средняя стоимость обслуживания в год, руб.: | 0 |
| Техническое состояние и способ использования: | Работоспособен. Используется самостоятельно |
| Обеспечение единства измерений, участие в программе CIPM MRA |
| Международные сличения: | 2017 |
| Дата и участники последних сличений: | |
| Планируемые, очередные сличения: | |
| Прочая информация |
| Способ учета (в составе основных средств, МБП, за балансом): | В составе основных средств |
| sortkey(Нет обозначения на сайте): | 2012 |
| Источник приобретения: | Бюджетные средства |
| Примечание: | |
| Статус: | Аннулирован |
|
