|
№ в госреестре | ГСО 10035-2011 |
| Наименование | СО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АМОРФНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СПАМ-20 |
| Номер свидетельства | 2402 |
| Срок свидетельства | 2016-12-16 |
| Срок годности | 2 года |
| Краткое описание | СО представляет собой кремниевую пластину с нанесенным на одну из сторон многослойным покрытием из чередующихся слоев оксида титана и оксида алюминия. Для защиты от внешних воздействий и пыли поверхность образца покрыта тонким (~400 нм) слоем оксида кремния. На лицевой стороне СО сформированы окна травления в многослойной структуре Al2O3/TiO2 до кремниевой подложки в составе четырех маркерных крестов по углам образца и девяти квадратных отверстий размером 100х100 мкм2, расположенных с шагом в 1 мм, в центре. На обратной стороне СО нанесена маркировка "СПАМ-20", внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии. Габаритные размеры СО - 17.0х17.0х0.4 мм3 с допуском в каждом измерении не более 0.1 мм. СО помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка. |
| Наименование аттестованной характеристики | средняя толщина слоя оксида титана, нм; средняя толщина слоя оксида алюминия, нм; межслоевой период повторения слоев, нм; общая толщина многослойной структуры, нм |
| Способ установления аттестованного значения | Применение аттестованных методик измерений |
| Страна | Россия |
| Производитель | МФТИ |
| Производство | Серийное повторяющимися партиями |
| Описание типа | Скачать |
| Статус | Срок действия истек |
|
