|
№ в госреестре | ГСО 10030-2011 |
| Наименование | СО ПАРАМЕТРОВ ШАГОВОЙ СТРУКТУРЫ В ТОНКОМ СЛОЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |
| Номер свидетельства | 0 |
| Срок свидетельства | 2026-11-23 |
| Срок годности | 5 лет |
| Краткое описание | СО представляет собой рельефную шаговую структуру в слое монокристаллического кремния толщиной не более 50 нм, укрепленную на стандартном держателе образцов для ПЭМ в области держателя, обозначенной буквой "B". Шаговая структура образована повторяющимися выступами трапецеидальной формы, количество выступов не менее 5. Нумерация выступов шаговой структуры осуществляется в направлении от шаговой структуры к букве "В", обозначенной на держателе. Значения длины L и ширины D шаговой структуры в слое монокристаллического кремния должны удовлетворять условию: L = (7,5±2,5) мкм; D = (7,5±2,5) мкм. |
| Наименование аттестованной характеристики | шаг шаговой структуры Ti (i=1,2,…., N, N больше/равно 4 и N меньше/равно 9), нм; расстояние d111 между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале СО, нм |
| Способ установления аттестованного значения | Применение аттестованных методик измерений |
| Страна | Россия |
| Производитель | АО "НИЦПВ" |
| Производство | Серийное повторяющимися партиями |
| Описание типа | Скачать |
| Статус | Действует |
|
