|
№ в госреестре | ГСО 9963-2011 |
| Наименование | СО РАЗМЕРА БЛОКОВ МОЗАИКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ |
| Номер свидетельства | 2280 |
| Срок свидетельства | 2013-08-01 |
| Срок годности | 2 года |
| Краткое описание | СО представляет собой прямоугольную пластину с размерами 5х5х0.5 мм, которая размещена в специальном пластиковом контейнере. На рабочей поверхности СО сформирован специфический микрорельеф в виде специфической структуры блоков мозаики диоксида кремния. Структура блоков мозаики создает упорядоченный и хорошо воспроизводимый микрорельеф поверхности в виде одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой. Указанная структура блоков мозаики на поверхности диоксида кремния сформирована с использованием специфических особенностей химического травления этого материала. После формирования специфической структуры блоков мозаики диоксида кремния на поверхность образца осуществлено вакуумное напыление золота. Благодаря этому поверхность образца становится электропроводной, а сам образец полностью готов к использованию в качестве тест-объекта для калибровки или поверки растровых электронных микроскопов (РЭВ). |
| Наименование аттестованной характеристики | размер блоков мозаики на рабочей поверхности по координатной оси Х и размер блоков мозаики на рабочей поверхности по координатной оси У, мкм |
| Способ установления аттестованного значения | Применение аттестованных методик измерений |
| Страна | Россия |
| Производитель | ФГУП "ЦНИИ КМ "Прометей" |
| Производство | Единичное |
| Описание типа | Скачать |
| Статус | Срок действия истек |
|
