СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-5)

№ в госреестреГСО 9892-2011
НаименованиеСО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-5)
Номер свидетельства2087
Срок свидетельства2016-09-07
Срок годности3 года
Краткое описаниематериал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния с покрытием из платины. При изготовлении образцов использовался кремний марки КЭС 0.01 плоскость (100), удельное сопротивление 0.01 Ом*см, с размерами 5х5х0.5 мм. Методом катодного магнетронного распыления на установке JFC-1600 (фирма JEOL) в атмосфере воздуха (остаточное давление 5 Па) на пластины кремния при задании ионного тока 40 мА в течении 300 с наносился слой платины (99.99%) толщиной 130 нм. Затем образец отжигался сначала при температуре 550 град. Цельсия в течении 2 часов, а затем при 650 град. Цельсия в течении 2 часов. Экземпляр СО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой.
Наименование аттестованной характеристикифактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(Lo-1)), (нм)2 мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (Lo), мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n)
Способ установления аттестованного значенияПрименение аттестованных методик измерений
СтранаРоссия
ПроизводительФГУП "НИФХИ им. Л.Я. Карпова"
ПроизводствоСерийное повторяющимися партиями
Описание типаСкачать
СтатусСрок действия истек