|
№ в госреестре | ГСО 9892-2011 |
| Наименование | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-5) |
| Номер свидетельства | 2087 |
| Срок свидетельства | 2016-09-07 |
| Срок годности | 3 года |
| Краткое описание | материал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния с покрытием из платины. При изготовлении образцов использовался кремний марки КЭС 0.01 плоскость (100), удельное сопротивление 0.01 Ом*см, с размерами 5х5х0.5 мм. Методом катодного магнетронного распыления на установке JFC-1600 (фирма JEOL) в атмосфере воздуха (остаточное давление 5 Па) на пластины кремния при задании ионного тока 40 мА в течении 300 с наносился слой платины (99.99%) толщиной 130 нм. Затем образец отжигался сначала при температуре 550 град. Цельсия в течении 2 часов, а затем при 650 град. Цельсия в течении 2 часов. Экземпляр СО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой. |
| Наименование аттестованной характеристики | фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(Lo-1)), (нм)2 мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (Lo), мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n) |
| Способ установления аттестованного значения | Применение аттестованных методик измерений |
| Страна | Россия |
| Производитель | ФГУП "НИФХИ им. Л.Я. Карпова" |
| Производство | Серийное повторяющимися партиями |
| Описание типа | Скачать |
| Статус | Срок действия истек |
|
