|
№ в госреестре | ГСО 9889-2011 |
| Наименование | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-2) |
| Номер свидетельства | 2084 |
| Срок свидетельства | 2016-09-07 |
| Срок годности | 3 года |
| Краткое описание | материал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния марки КЭС 0.01 (поверхность (111)) с покрытием осажденного карбида кремния из парогазовой среды карбида дикремния и кремния (остаточное давление воздуха ~10 Па) при температуре 1150 град. Цельсия. Методом катодного магнетронного распыления в установке JFC-1600 (фирма JEOL) в атмосфере воздуха (остаточное давление 5 Па) на осажденный карбид кремния при задании ионного тока 40 мА в течении 150 с наносился слой платины (99.99%) толщиной 65 нм. Экземпляр СО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой. |
| Наименование аттестованной характеристики | фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(Lo-1)), (нм)2 мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (Lo), мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n) |
| Способ установления аттестованного значения | Применение аттестованных методик измерений |
| Страна | Россия |
| Производитель | ФГУП "НИФХИ им. Л.Я. Карпова" |
| Производство | Серийное повторяющимися партиями |
| Описание типа | Скачать |
| Статус | Срок действия истек |
|
