СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-2)

№ в госреестреГСО 9889-2011
НаименованиеСО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-2)
Номер свидетельства2084
Срок свидетельства2016-09-07
Срок годности3 года
Краткое описаниематериал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния марки КЭС 0.01 (поверхность (111)) с покрытием осажденного карбида кремния из парогазовой среды карбида дикремния и кремния (остаточное давление воздуха ~10 Па) при температуре 1150 град. Цельсия. Методом катодного магнетронного распыления в установке JFC-1600 (фирма JEOL) в атмосфере воздуха (остаточное давление 5 Па) на осажденный карбид кремния при задании ионного тока 40 мА в течении 150 с наносился слой платины (99.99%) толщиной 65 нм. Экземпляр СО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой.
Наименование аттестованной характеристикифактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(Lo-1)), (нм)2 мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (Lo), мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n)
Способ установления аттестованного значенияПрименение аттестованных методик измерений
СтранаРоссия
ПроизводительФГУП "НИФХИ им. Л.Я. Карпова"
ПроизводствоСерийное повторяющимися партиями
Описание типаСкачать
СтатусСрок действия истек